
低溫液氮探針臺 LN-4H-06產品主要是由真空腔體、探針控制、顯微鏡模塊、變溫樣品臺、進口分子泵組、全旺程真空規、智能溫控儀等組成。
ZP3-4 微納探針臺包含4個壓電三軸探針臂,每個三軸配備1個可拆卸式電學探針接口,可在毫米級尺度上進行宏觀運動并實現納米尺度上的微觀運動。
室溫半自動探針臺 TZ-H-06室溫自動探針臺,高可靠性探針臺系統,主要應用在半導體/微電子, 電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMs,生物芯片,航空航天等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。
干式液氦溫區探針臺 LHe-6H-06產品特點,真空腔體:真空度優于610-4 Pa。降溫后優于610-5 Pa。留有2個用戶法蘭接口(KF40可接入氣體或者額外的電纜)。